行星减速机的运作原理是基于行星齿轮传动，太阳轮带动行星轮，行星轮在内齿圈中运动，通过行星架输出动力。行星齿轮组精度对设备性能影响巨大。

低精度的齿轮组，在啮合过程中易产生偏差，引发冲击力，导致减速机抖动。除此之外，电机输出不稳定、设备共振等也可能是抖动的根源。